Создан в 2003 году на базе факультета радиофизики и электроники и НИИ ПФП имени А.Н. Севченко при Белорусском государственном университете Министерства образования Республики Беларусь. Аттестован и аккредитован Комиссией ГКНТ Республики Беларусь 30.11.2005 г.
Направления научно-исследовательской деятельности
- ионно-лучевое легирование материалов в диапазоне энергий 5÷2500 кэВ;
- нанесение слоев металлов, полупроводников и диэлектриков толщиной от 1 нм до 10 мкм плазменными, ионно-плазменными, ионно-ассистируемыми, лазерными методам и методом лазерной фотохимии;
- формирование наноструктурированных систем в полупроводниках, металлах и диэлектриках из пересыщенных твердых растворов созданных высокодозной ионной имплантацией и методами планарной технологии;
- лазерная обработка оптически прозрачных материалов и пластмасс;
- количественный неразрушающий анализ по глубине объекта с помощью обратного резерфордовского рассеяния ОРР и выхода характеристического рентгеновского излучения (PIXE);
- неразрушающий анализ распределения дефектов структуры по глубине объекта методом ОРР с каналированием ионов;
- определение местоположения дефектов и примесных атомов в элементарной ячейке кристалла;
- измерение электрофизических и оптических характеристик твердотельных объектов;
- измерение вольтамперных (I – V), вольтфарадных (C – V) характеристик и DLTS-спектрометрия полупроводниковых материалов, структур и приборов нано- и микроэлектроники;
- трибомеханические испытания материалов (микротвердость, износ и коэффициент трения);
- фазовый и структурный анализ материалов просвечивающей электронной микроскопией и cross-section электронной микроскопией.
Перечень предоставляемых услуг
Методики измерений:
- методики анализа структуры, типа дефектов и элементного состава по глубине объектов методом ОРР с каналированием ионов;
- методика прецизионного элементного анализа по выходу вторичного рентгеновского излучения, возбуждаемого ионами (PIXE);
- методики просвечивающей электронной микроскопии и электронной дифракции;
- методика подготовки материалов для просвечивающей и cross-section электронной микроскопии;
- методика cross-section электронной микроскопии;
- методика контроля тонких и сверхтонких слоев материалов методом лазерной элипсометрии;
- методики измерений электрофизических параметров материалов и приборных структур (I – V, C – V, холловские измерения);
- методика нестационарной емкостной спектроскопии глубоких уровней (DLTS);
- методики контроля оптических характеристик материалов и приборных структур (ИК-спектроскопия, рамановская спектроскопия);
- методики контроля адгезии и трибомеханических свойств;
- методика определения местоположения атомов в элементарной ячейке кристалла по каналированию ионов;
- методика элементного анализа по глубине объектов методом OPP с электростатическим анализатором с разрешением по глубине 1 нм;
- методика создания объемных изображений внутри прозрачных материалов.
Контактная информация
Белорусский государственный университет
г. Минск, ул. Курчатова, 1, к. 61
Научный руководитель – Комаров Фадей Фадеевич, доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент НАН Беларуси
тел.: +375 17 398 75 45
email: komarovF@bsu.by