разработка и исследование электрохимических методов заполнения медью переходных отверстий в кремнии при создании трехмерных металлических межсоединений в технологии вертикальной сборки кристаллов.
Задачи:
- разработать и исследовать электрохимические процессы заполнения медью переходных отверстий в промежуточной кремниевой пластине при воздействии интенсифицирующих факторов;
- исследовать влияние выравнивающих добавок в электролите меднения и режима электролиза на закономерности локального осаждения меди в вертикальные TSV- отверстия в различного размера;
- изучить влияние параметров периодического тока различной формы и частоты и ультразвука на механизм и физико-химические закономерности электрохимического заполнения отверстий;
- оптимизировать состав электролита и программно-управляемые режимы электрохимического меднения переходных отверстий в кремнии при создании межсоединений на постоянном и периодическом токе.
результаты НИР актуальны для использования в микро- и наноэлектронике.
в результате выполнения НИР появится возможность заполнения глухих отверстий в кремниевых пластинах в условиях программно-управляемого импульсного электролиза с учетом уже существующих технологических маршрутов изготовления TSV-металлизации, создавать медные микропроводники для формирования многоуровневых межсоединений элементов ИМС. Электрохимическое заполнение TSV-отверстий будет проводиться на постоянном и реверсированном токе различной формы и частоты в ультразвуковом поле при программном изменении режима электролиза, что позволит значительно удешевить процесс и обеспечит суперконформное заполнение отверстий.
микро- и наноэлектроника.
учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Научно-исследовательская часть
тел: +375 17 293 80 55
e-mail: science@bsuir.by