Исследовательско-технологический центр коллективного пользования Нанотехнологий и физической электроники, НИИ ПФП им. А.Н.Севченко БГУ

Создан в 2003 году на базе факультета радиофизики и электроники и НИИ ПФП имени А.Н. Севченко при Белорусском государственном университете Министерства образования Республики Беларусь.

направления деятельности:
  • ионно-лучевое легирование материалов в диапазоне энергий 5÷2500кэВ;
  • нанесение слоев металлов, полупроводников и диэлектриков толщиной от 1 нм до 10 мкм плазменными, ионно-плазменными, ионно-ассистируемыми, лазерными методам и методом лазерной фотохимии;
  • формирование наноструктурированных систем в полупроводниках, металлах и диэлектриках из пересыщенных твердых растворов созданных высокодозной ионной имплантацией и методами планарной технологии;
  • лазерная обработка оптически прозрачных материалов и пластмасс;
  • количественный неразрушающий анализ по глубине объекта с помощью обратного резерфордовского рассеяния ОРР и выхода характеристического рентгеновского излучения (PIXE);
  • неразрушающий анализ распределения дефектов структуры по глубине объекта методом ОРР с каналированием ионов;
  • определение местоположения дефектов и примесных атомов в элементарной ячейке кристалла;
  • измерение электрофизических и оптических характеристик твердотельных объектов;
  • измерение вольтамперных (I – V), вольтфарадных (C – V) характеристик и DLTS-спектрометрия полупроводниковых материалов, структур и приборов нано- и микроэлектроники;
  • трибомеханические испытания материалов (микротвердость, износ и коэффициент трения);
  • фазовый и структурный анализ материалов просвечивающей электронной микроскопией и cross-section электронной микроскопией.

Основное научное оборудование:

  1. Камера рентгеновская VHR-2 «Photonic Sciеnce»
  2. Микроскоп электронный ЭМ-125
  3. Ускоритель частиц АN–2500 HVE
  4. Ускоритель частиц ЭСУ-2
  5. Система препарирования образцов электронной микроскопии
  6. Просвечивающий электронный микроскоп Hitachi H-800
  7. Установка для быстрого термического отжига «JETFIRST 100»
  8. Измерительный спектроскопический комплекс RAMANOR U-1000
  9. Лазерная технологическая система 4001194 ELS-02М
  10. Многофункциональный лазерный комплекс ELS-01
  11. Лазер LS-2134D с системой контроля параметров излучения и программным управлением

Контакты:
220064 г. Минск, ул. Курчатова, 7
Тел.: +375 17 212 48 33, 212 08 80
Факс: +375 17 278 04 17
e-mail: komarov@bsu.by

, ,