Назначение и области применения
- формирование остросфокусированных или широких пучков для электронных технологий: сварки, плавки, пайки, модификации электрофизических свойств, поверхностей.
- машино- и приборостроение;
- микроэлектроника;
- установки плазмохимических процессов.
Краткое описание
Источники с плазменным эмиттером содержат генератор низкотемпературной плазмы на основе низковольтного разряда с холодным полым катодом, а при формировании широких пучков - с полым анодом; систему электродов ускорения пучков и систему фокусирования.
В качестве системы электропитания может быть использована система электропитания технологических электронно-лучевых установок с термокатодными пушками при замене в них блока накала катода на блок питания разряда, что не вызывает значительных трудностей.
Преимущества
- повышенный в 5-6 раз ресурс срока службы;
- высокая производительность;
- простота конструкции и отсутствие в ней дорогостоящих и редких металлов.
Предлагаемые формы сотрудничества
- Передача комплекта технической документации на источники и блок питания разряда;
- Поставка, монтаж и наладка источников на установке заказчика;
- Производственная кооперация по изготовлению энергокомплексов на базе источников.
Технические характеристики
- ускоряющее напряжение, кВ................ 10...30
- ток пучка, А..................................... до 0,5
- диаметр пучка:
- cфокусированного, мм............... 0,5..1
- широкого, мм......................... до 180
- рабочее давление, мм.рт.ст............ 10-3...10-5
|

|