7. Конкурентоспособные изделия радио-, микро-, нано-, СВЧ- и силовой электроники, микросенсорики, лазерно-огггической техники, разработка новых видов приборов, в том числе для научных целей     Фундаментальные научные исследования     7.1. взаимодействие лазерного излучения с различными средами и объектами, развитие физических основ создания новых лазерных технологий и техники, новых типов вакуумных СВЧ-генераторов и усилителей сверхбольшой мощности;     7.2. оптические методы исследования структуры и свойств вещества, атомно-молекулярные и плазмодинамические процессы для получения новых материалов, приборов и наукоемких технологий;     7.3. физические и химические процессы в полупроводниках, тонких слоях и пленках твердого тела и на границах раздела фаз;     7.4. методы и средства неразрушающего контроля и технической диагностики;     Прикладные научные исследования     7.5. материалы с новыми свойствами, обеспечивающие создание опто-, микро- и наноэлектронных устройств, схемотехнические решения для построения таких устройств;     7.6. оптические, электронные приборы и оборудование, включая лазерно-оптические оборудование и технологии; аналитическое оборудование и приборы контроля качества и сертификации; опто-, микро- и наноэлектронные системы и устройства;     7.7. методы и оборудование зондовой, туннельной и атомно-силовой микроскопии;     7.8. методы и средства контроля технологии производства и электропараметров создаваемых полупроводниковых приборов и интегральных схем.