Приоритетная макротехнология: Оптическое и электронное приборостроение |
Критические технологии
Получение материалов с новыми свойствами, обеспечивающими создание новых субмикронных микроэлектронных устройств.
Опто-, микро- и наноэлектронные системы и устройства.
Лазерно-оптическое оборудование и технологии.
Методы и средства контроля технологий создания и электропараметров полупроводниковых приборов и электронных схем.
Аналитическое оборудование и приборы контроля качества и сертификации продукции.
Вакуумные технологии.
Научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, направленные на разработку и обеспечение критических технологий
Исследование физических, физико-химических и химических явлений и процессов, свойств и характеристик материалов, являющихся основой твердотельных приборов, интегральных микросхем, приборов функциональной опто-, микро-и наноэлектроники.
Разработка:
новых опто- и радиоэлектронных приборов для промышленности, медицины, экологии, систем обработки данных, систем управления качеством, метрологии и сертификации;
компьютерной технологии проектирования и производства оптических изделий со специальными свойствами;
цифровых радиоизмерительных приборов;
электронно-лучевых трубок для осциллографов с диапазоном частот до 200 МГц и размером экрана от 8 до 14 см по диагонали;
новых приборов для измерения намагниченности изделий и магнитных полей;
ионных источников, обеспечивающих получение прочных многослойных тонкопленочных вакуумных покрытий на оптических деталях, а также позволяющих осуществлять ионную полировку или формообразование рабочей поверхности оптической детали;
ионно-плазменных источников для нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме на оптические детали;
комплекса оборудования для реализации технологии полирования оптических деталей с использованием магнитореологических жидкостей в качестве полировальной подложки.
Создание:
Технологий, обеспечивающих повышенную радиационную стойкость биполярных кремниевых приборов, в том числе путем математического моделирования процессов плазменного легирования их водородом;
комплексе оборудования по ускоренному изготовлению асферических деталей;
особо чистых химикатов для варки оптических стекол.
Исследования по повышению чувствительности и разрешающей способности, комбинированию пассивных и активных (лазерных) оптических средств, сочетанию в единой системе разно-функциональных оптических информационных каналов (наблюдательных, измерительных, указательных, управляющих). |
|