Приоритетная макротехнология: Микроэлектроника     Критические технологии     Производство:     микросхем;     полупроводников;     оптико-механического, контрольно-измерительного и сборочного оборудования.         Научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, направленные на разработку и обеспечение критических технологий     Изучение:     физических и химических процессов в полупроводниках, тонких слоях и пленках твердого тела и на границах раздела с нижележащими слоями; материалов с новыми свойствами, обеспечивающими создание субмикронных микроэлектронных устройств.     Разработка:     принципов схемотехнического построения приборов микро-, опто- и наноэлектроники;     научных и физических основ технологии изготовления интегральных микросхем, устройств функциональной, опто- и наноэлектроники и их структурных элементов, включая исследования по влиянию внешних воздействий на качество структурных элементов и приборов в целом;     методов и средств контроля технологии и электропараметров создаваемых полупроводниковых приборов и интегральных схем;     оборудования для производства сверхбольших интегральных схем нового технологического уровня, формирования и переноса изображения;    новых технологий процессов сборки и испытаний приборов твердотельной электроники, микро- и наноэлектроники. Исследование зависимости и прогнозирование электропараметров терморезисторов (позисторов), керамических конденсаторов из пьезокерамики по показателям физико-технических характеристик исходных сырьевых материалов и параметров технологического процесса изготовления.     Создание отечественных источников излучения в диапазоне длин волн 10-250 нм для промышленных систем литографии.     Математическое моделирование:     процессов переноса в полупроводниковых структурах;     технологических процессов производства субмикронных элементов сверхбольших интегральных схем.