Оптимизация процессов металлизации 3D микроструктур с высоким аспектным соотношением

bguir_admin - чт, 05/03/2020 - 16:06
Программа:
Вид научной деятельности:
Вид создаваемой научно-технической продукции:
Дата начала работ:
Дата окончания работ :
Цели:

оптимизация процессов металлизации для применения в процессах микросборки для создания СБИС памяти повышенной емкости, повышение качества и эксплуатационной надёжности изделий.

Задачи:

  • разработка эффективных процессов металлизации 3D структур в объеме полупроводниковых пластин;
  • исследование материалов металлизации с целью повышения проводимости структур и их надежности;
  • исследование и моделирование  процессов 3D металлизации с учетом особенностей прикатодных процессов осаждения;
  • развитие основ интегрирования процессов металлизации в процессы формирования элементов СБИС памяти повышенной емкости;
  • изготовление тестовых элементов металлизации 3D структур.
Актуальность (решаемые проблемы):

результаты НИР актуальны для использования в применении в процессах микросборки для создания СБИС памяти повышенной емкости, повышение качества и эксплуатационной надёжности изделий.

Краткое описание создаваемой научно-технической продукции:

в результате выполнения НИР будет проведена оптимизация процессов электрохимического осаждения, что повысит надежность структур. Моделирование процессов 3D металлизации с учетом особенностей прикатодных процессов осаждения позволит повысить проводимость металлизации, в том числе и эмиссионных элементов и структур.

Область применения результатов НИОКР:

промышленность.

Контактная информация:

учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Научно-исследовательская часть
тел: +375 17 293 80 55
e-mail: science@bsuir.by