оптимизация процессов металлизации для применения в процессах микросборки для создания СБИС памяти повышенной емкости, повышение качества и эксплуатационной надёжности изделий.
Задачи:
- разработка эффективных процессов металлизации 3D структур в объеме полупроводниковых пластин;
- исследование материалов металлизации с целью повышения проводимости структур и их надежности;
- исследование и моделирование процессов 3D металлизации с учетом особенностей прикатодных процессов осаждения;
- развитие основ интегрирования процессов металлизации в процессы формирования элементов СБИС памяти повышенной емкости;
- изготовление тестовых элементов металлизации 3D структур.
результаты НИР актуальны для использования в применении в процессах микросборки для создания СБИС памяти повышенной емкости, повышение качества и эксплуатационной надёжности изделий.
в результате выполнения НИР будет проведена оптимизация процессов электрохимического осаждения, что повысит надежность структур. Моделирование процессов 3D металлизации с учетом особенностей прикатодных процессов осаждения позволит повысить проводимость металлизации, в том числе и эмиссионных элементов и структур.
промышленность.
учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Научно-исследовательская часть
тел: +375 17 293 80 55
e-mail: science@bsuir.by