Разработать технологию изготовления интегральных конденсаторных структур высокой емкости на основе макропористого кремния

bguir_admin - чт, 05/03/2020 - 15:49
Программа:
Вид научной деятельности:
Вид создаваемой научно-технической продукции:
Дата начала работ:
Дата окончания работ :
Цели:

разработка технологии изготовления конденсаторных структур на основе макропористого кремния и исследование их электрофизических характеристик для создания интегральных конденсаторов высокой емкости.

Задачи:

  • разработать процесс изготовления высокоупорядоченных слоев макропористого кремния с низкой шероховатостью стенок каналов пор;
  • исследовать особенности легирования слоев макропористого кремния бором;
  • исследовать особенности атомно-слоевого осаждения оксида гафния в макропористый кремний;
  • изготовить структуры конденсаторные структуры на основе макропористого кремния и пленок оксида гафния и изучить их емкостные характеристики;
  • оптимизировать режимы электрохимического анодирования кремния и атомно-слоевого осаждения оксида гафния, обеспечивающие получение конденсаторных структур, демонстрирующих максимальную удельную емкость при минимальных геометрических размерах.
Актуальность (решаемые проблемы):

результаты НИР актуальны для использования в электронике.

Краткое описание создаваемой научно-технической продукции:

в результате выполнения НИР будет разработана технология изготовления конденсаторных структур на основе макропористого кремния и исследованы их электрофизические характеристики для создания интегральных конденсаторов высокой емкости.

Область применения результатов НИОКР:

электроника.

Контактная информация:

учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Научно-исследовательская часть
тел: +375 17 293 80 55
e-mail: science@bsuir.by